CVD材料智合系統(tǒng)

本文摘要

產(chǎn)品概述： CVD材料 智合系統(tǒng)是一種基于化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)的高性能納米材料制備儀器，專為生長碳納米管、石墨烯、碳纖維等碳基納米材料而設(shè)計。 CVD材料，碳納米材料制備 ...

產(chǎn)品概述：

CVD材料 智合系統(tǒng)是一種基于化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)的高性能納米材料制備儀器，專為生長碳納米管、石墨烯、碳纖維等碳基納米材料而設(shè)計。

產(chǎn)品特點：

高效制備技術(shù)：采用先進的化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝，專為生長碳納米管、石墨烯、納米碳纖維等高性能碳基納米材料而設(shè)計，確保材料的高質(zhì)量與高性能。

廣泛適用場景：適用于高校、科研機構(gòu)及企業(yè)等材料制備相關(guān)實驗室，滿足工藝研發(fā)、技術(shù)驗證及小批量試產(chǎn)的多元化需求。

多功能性與兼容性：

材料適配性：可制備直徑150nm、長度1200μm的碳納米管；單層率>95%、缺陷密度<0.5%的石墨烯；以及直徑5~10μm、拉伸強度≥3.5GPa的碳纖維。

基底兼容性：支持金屬箔（如Cu、Ni、Fe）、陶瓷（如Al?O?、SiC）及柔性聚合物（如PI、PET）等多種基底生長，拓寬應(yīng)用范圍。

優(yōu)化生長環(huán)境：

精確控制氣體在反應(yīng)腔內(nèi)的擴散路徑，確保基材表面納米材料生長的均勻性（CV<5%）。

通過預(yù)設(shè)編程參數(shù)，靈活匹配不同材料（如單壁/多壁碳管、少層石墨烯）的生長需求。

高性能加熱與溫控系統(tǒng)：

爐膛長度250mm，功率1.4kW，支持最高1100℃持續(xù)加熱。

配置S型高精度鉑銠熱電偶，量程0~1500℃，采用獨立溫控系統(tǒng)，6組12段分段控制程序，溫控精度可達±0.5℃。

PID智能算法動態(tài)調(diào)整加熱區(qū)功率，確保爐膛溫度均勻性≤±1℃。

精確氣體流量控制：通過質(zhì)量流量計（MFC）實時監(jiān)控氬氣流量，量程范圍50-500ml/min，精度±1%FS，確保反應(yīng)過程的穩(wěn)定性。

先進真空系統(tǒng)：內(nèi)置抽真空裝置，抽速0.5L/s，極限真空度-80kPa，工作真空度-50kPa~-60kPa（誤差±0.25%），超壓時自動關(guān)閉氣閥（響應(yīng)時間<20ms）。

智能化與自動化：

儀器由加熱與溫控、氣體與真空、前驅(qū)體注射、安全保護及中央控制五大系統(tǒng)高度協(xié)同聯(lián)動運行。

采用先進的智能調(diào)節(jié)算法，無超調(diào)，具備自整定功能及掉電數(shù)據(jù)保護，實現(xiàn)任意斜率的升、降溫控制。

前驅(qū)體注射系統(tǒng)采用高精度步進電機及驅(qū)動控制，完成抽液、填充、排液、注射及狀態(tài)監(jiān)控等功能，計量準(zhǔn)確，操作簡單。

安全可靠的設(shè)計：

爐體隔熱材料采用高純氧化鋁陶瓷纖維空氣凝膠復(fù)合材料，保溫隔熱效果好，爐體外溫小于50℃。

采用快裝法蘭，密封性能好，真空度高，預(yù)留兩個進氣口，實現(xiàn)氣氛保護功能。

廢氣吸收罐采用500ml串聯(lián)式洗收瓶，吸附效率≥95%，確保環(huán)境友好。

UPS應(yīng)急電源輸出功率500W，維持關(guān)鍵部件運行30分鐘，確保儀器在斷電情況下的安全運行。

技術(shù)參數(shù)：

參數(shù)名稱	規(guī)格/描述
型號	UP-CVD50A
外形尺寸(mm)	L1250*W650*H830
額定功率(kW)	1.5
額定電壓(V)	AC220/50HZ
最高溫度(℃)	1200
額定溫度(℃)	1100
測溫范圍(℃)	0-1500
控溫精度(℃)	±0.5
升溫速率(℃/min)	1-30℃/min可調(diào)，任意區(qū)間線性升溫至目標(biāo)溫度
降溫速率(℃/min)	1-30℃/min可調(diào)，任意區(qū)間線性降溫＊
爐管材質(zhì)	石英管
爐管尺寸(mm)	50*600
爐膛尺寸(mm)	￠240-200
最大正壓力(kPa)	≤20
溫度均勻性(℃)	±1
爐管承重(kg)	5
加熱元器件	OCr27AI7MO2電阻絲，串聯(lián)連接
熱電偶	1極精度S型熱電偶
物料載體方式	石英坩堝
開門方式	對開開啟式，帶爐膛開啟自動斷電保護功能
基底兼容性	支持多種金屬箔、陶瓷及柔性聚合物基底生長
廢氣處理	500ml串聯(lián)式洗收瓶，吸附效率≥95%
應(yīng)急電源	UPS 500W，維持關(guān)鍵部件運行30分鐘
前驅(qū)體注射系統(tǒng)	高精度步進電機驅(qū)動，計量準(zhǔn)確，操作簡單
人機界面	7寸嵌入式觸摸屏，分辨率1024*600，支持中/英文切換
數(shù)據(jù)存儲與導(dǎo)出	可記錄15000條實驗數(shù)據(jù)，支持U盤導(dǎo)出
控制系統(tǒng)	PLC可編程控制器，智能調(diào)節(jié)算法，自整定功能
遠(yuǎn)程控制	支持4G、網(wǎng)口連接，WEB/PC/APP/小程序監(jiān)控與控制
重量(kg)	120
安全保護	可燃?xì)怏w泄漏自動關(guān)閉氣閥，超壓保護
隔熱保護	高純二氧化硅空氣凝膠，厚度>20mm